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德州儀器發布DLP991UUV,推動無掩膜光刻技術

       頂點光電子商城2025年10月9日消息:近日,德州儀器(TI)推出其最新工業數字微鏡器件DLP991UUV,專為先進封裝和無掩膜光刻(LDI)技術打造。該設備具備4096×2176分辨率,約890萬個微鏡排列,微鏡間距僅為5.4微米,微鏡陣列對角線尺寸為0.99英寸,支持343至410納米的紫外光波段。


德州儀器發布DLP991UUV,推動無掩膜光刻技術(圖1)

       DLP991UUV通過調制入射光的幅度、方向和相位,實現亞微米級的圖案化精度,尤其適用于對高精度要求且需降低成本的先進封裝領域。其無掩膜設計可根據材料表面的實時狀態靈活調整圖案,顯著提升工藝調優速度并消除掩膜更換帶來的時間與成本負擔。


           配合DLPC964控制器,DLP991UUV支持超高速流式數據傳輸,滿足3D打印和半導體制造等領域對大尺寸構件和超精細分辨率的需求。此外,DLP991UUV還廣泛應用于高光譜成像、工業檢測和機器視覺,助力推動各行業的智能制造升級。