頂點光電子商城2025年5月27日消息：近日，華鑫微納“8英寸MEMS晶圓全自動生產(chǎn)線”正式投產(chǎn)，標志著國內(nèi)MEMS晶圓制造領域邁入新階段，對推動傳感器產(chǎn)業(yè)升級、完善產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)具有里程碑意義。
該生產(chǎn)線為全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產(chǎn)線，集成硅基MEMS、壓電MEMS、CMOS-MEMS單片集成及2.5D/3D微系統(tǒng)集成技術，工藝兼容性強、自動化水平高。規(guī)劃月產(chǎn)能達3萬片，首期目標為2025年實現(xiàn)1萬片/月達產(chǎn)，將成為國內(nèi)MEMS晶圓制造的核心產(chǎn)能基地。
作為中國傳感谷公共服務平臺的核心拼圖，生產(chǎn)線面向全球智能傳感器企業(yè)提供開放式、定制化代工服務，覆蓋慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS器件等高端領域。目前已與50家客戶達成合作意向，意向訂單約21萬片，另有3萬片合同正在洽談中，客戶群體覆蓋汽車電子、高端裝備等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)。
8英寸晶圓是MEMS傳感器的基礎材料，此前國內(nèi)高端MEMS芯片依賴進口。該生產(chǎn)線投產(chǎn)將打破技術封鎖，推動傳感器產(chǎn)業(yè)鏈自主可控。壓電MEMS量產(chǎn)線的建成，實現(xiàn)了國內(nèi)該領域“零的突破”，為聲學、超聲等高精度傳感器提供國產(chǎn)化解決方案。
生產(chǎn)線所在的蚌埠中國傳感谷已集聚200余家傳感器相關企業(yè)，形成從研發(fā)設計、晶圓制造到封裝測試的全產(chǎn)業(yè)鏈布局。政府通過建設共享大宗氣站、表面處理中心等配套設施，降低企業(yè)運營成本，吸引更多企業(yè)入駐，加速產(chǎn)業(yè)生態(tài)完善。項目總投資50.6億元，帶動地方就業(yè)與稅收增長，助力蚌埠打造“千億級”智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群。精密微納制造技術全國重點實驗室長三角產(chǎn)教融合協(xié)同中心等創(chuàng)新平臺落地，推動產(chǎn)學研深度融合，為產(chǎn)業(yè)升級提供技術支撐。
隨著生產(chǎn)線產(chǎn)能釋放，華鑫微納將進一步拓展汽車電子、醫(yī)療健康、工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)等領域的市場份額，推動MEMS傳感器國產(chǎn)化替代。
生產(chǎn)線將持續(xù)優(yōu)化工藝流程，探索更先進的微納制造技術，為下一代傳感器研發(fā)提供平臺支持，助力國內(nèi)傳感器產(chǎn)業(yè)向高端化、智能化邁進。華鑫微納“8英寸MEMS晶圓全自動生產(chǎn)線”的投產(chǎn)，不僅是企業(yè)技術實力的體現(xiàn)，更是國家戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)布局的重要成果。其“開放式、定制化”的代工模式，將有效降低中小企業(yè)創(chuàng)新門檻，加速傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)繁榮，為全球智能傳感器產(chǎn)業(yè)格局重塑貢獻中國力量。
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