頂點光電子商城2025年5月26日消息：近日，珠海恒格微電子裝備有限公司在珠海高新區舉行了全國首臺晶圓級“等離子多驅解離刻蝕設備”發布會。這一設備的發布標志著我國在高端半導體制造核心裝備領域實現了重大技術突破，為芯片制造國產化替代注入了強勁動能。
該設備突破了多項“卡脖子”技術難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點。可廣泛應用于集成電路、第三代半導體及先進封裝領域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。達到國際先進水平，填補了國內高端刻蝕設備空白，將顯著降低晶圓廠對進口設備的依賴，助力半導體產業鏈安全升級。
恒格微電子與電子薄膜與集成器件全國重點實驗室簽署了深度產學研合作協議，雙方將圍繞半導體設備核心技術研發、專業人才培養等領域開展戰略合作。電子科技大學代表表示，此次合作將加速高校科研成果轉化，為國產半導體裝備技術迭代提供智力支持。
珠海高新區長期以來把集成電路產業作為引領區域創新發展的主導產業，瞄準高端半導體設計、設備制造、晶圓代工和先進封裝等領域強鏈、延鏈、補鏈，推動半導體與集成電路產業集群式發展。此次發布會的成功舉辦，將進一步鞏固珠海高新區在集成電路產業領域的領先地位。
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